用于LED外延片的光致发光光谱扫描成像仪

北京中拓机械有限公司的LED外延片PL光谱扫描成像仪是清华大学物理系在国家863计划的支持下，经过七年的研究和改进而开发的专利产品。该成像仪用于LED外延片质量的快速在线检测，主要用于LED外延片和芯片生产线，生成高分辨率地图，测量薄膜厚度。该仪器为外延片生产过程的优化控制提供了快速可靠的数据反馈，为提高生产质量提供了可靠保障。该成像仪已成功应用于多条LED外延片生产线。

主要功能:

1，逐点扫描检测；

2.外延片集成度、光强和主波长的计算机分析计算。峰值波长、光谱半宽度等参数；

3.以绘图、横断面分布图和单点光谱的形式显示分布和数据；

4.显示每个参数的统计结果；

5.显示所选范围的统计参数；

6.可以进行局部扫描，对扫描结果进行去孤立点和去边缘处理；

7.利用白光反射光谱测量薄膜厚度，并以绘图形式显示分布和数据；

8、配备离线数据处理软件。

该仪器运行可靠，结构紧凑。所有检测和数据处理均由计算机自动完成。采用用户友好的窗口界面，易于操作。用户只需很少的培训就可以使用，并且可以根据不同的外延片选择不同的激光器。