有哪些有趣的纳米机电系统？

在过去的20年里，人们一直在积极研究MEMS。随着制造工艺精度的提高，器件的尺寸迅速缩小，出现了纳米级的MEMS，这就是纳米机电系统(NEMS)。NEMS是基于MEMS技术的新概念，是指一类在特征尺寸和效应上具有纳米技术特征的超小型机电一体化研究领域，包括量子效应、纳米尺度结构产生的界面效应以及以纳米尺度效应为特征的器件和系统，如纳米尺度的机械设备、电子器件、计算机和传感器等。NEMS技术一出现，奈米机械振荡器和感应器、奈米机电共振器以及其他装置的原型就被开发出来。NEMS技术将在各个领域具有强大的生命力。