闸门压力测试原理 栅极应力测试原理一种用于测试半导体器件的方法包括在半导体衬底上形成测试电路。测试电路包括电连接到由半导体衬底支撑的一组器件结构的多个互连。测试电路用于测试每个器件结构,例如栅极应力或漏电流测试。测试后,删除多个互连。根据查询的相关信息:,br & gt1,专利中文文件1。圆片级石墨烯单晶成核控制及快速生长机理研究。