薄膜测厚仪的工作原理和特点是什么？

可见光垂直照射在被测薄膜上，一部分光在薄膜表面反射，另一部分穿透薄膜，然后在薄膜与底层的界面处反射，使薄膜表面反射的光与薄膜底部反射的光相互干涉。它基于白光干涉的原理，利用宽带光源测量不同波长的反射数据。由于反射率n和k随不同的薄膜而变化，根据这一特性可以通过曲线拟合得到薄膜厚度。不同类型材料对应的参数用不同的模型描述，保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。