mems有哪些形状？

1.声学设备:包括麦克风、扬声器和声学传感器等。呈小片状或圆柱形。

2.加速度计:加速度计是测量物体加速度的装置，其形状可以是小芯片、方形封装或L形封装。

3.陀螺仪:陀螺仪用于测量旋转角速度，形状为小方包或柱状包。

4.压力传感器:用于测量气体或液体压力的装置，其形状为小芯片、薄封装或管状封装。

5.光学设备:包括光开关、光传感器、微镜等。，它们是具有特殊形状的微小芯片或模块。

6.微型马达:用来提供振动和驱动力的小马达。它的形状是圆柱形、正方形或圆盘形。