扩散泵的抽速越高极限真空越低吗？

通常，扩散泵的性能取决于极限真空、最大背压、抽气速率和冷阱或低温挡板的设置。？

扩散泵介绍

从1913年格德发明扩散泵至今已有101年，期间技术有了长足的进步。油扩散泵的抽速达到100000 L/s以上，扩散喷射泵的抽速达到40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空应用领域发挥着非常重要的作用。

虽然许多其他类型的抽气方式也可以在高真空领域工作，但扩散泵由于结构简单、操作维护方便、使用寿命长、对各种气体的抽气特性好，一直是获得高真空的主要抽气设备。

盖德于2003年9月25日在德国申请了一项专利，专利号为1965438+，是一种利用水银蒸汽流产生高真空的装置。他指出，高真空是通过扩散获得的，因此这种泵以扩散泵而闻名。根据前苏联的文献报道，这种泵是由俄罗斯学者巴·劳维克于1912年在彼得堡物理研究所首次提出的。