泵的真空抽气技术有哪些常见类型？

机械方法有:

1.可变排量真空泵

它是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气，以达到抽空气的目的的真空泵。气体在从泵室排出之前被压缩。这种泵分为往复式和旋转式。

往复式真空泵、旋片真空泵、定子真空泵、滑阀真空泵、摆线真空泵、液环真空泵、干式真空泵和罗茨真空泵都属于这一类。

2.动量转移泵

它依靠高速旋转的叶片或高速射流将动量传递给气体或气体分子，使气体从泵的入口不断地输送到出口。

分子真空泵、蒸汽喷射泵和扩散泵都属于这一类。

物理定律:

气体捕集真空泵

是使气体分子吸附或凝结在泵的内表面的真空泵，分为以下几种。

1.吸附泵，依靠大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽吸空气。例如分子筛吸附泵。

2.吸气剂泵，这是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是块状或沉积的新鲜薄膜形式的金属或合金。比如钛升华泵、锆铝吸气剂泵就属于这种类型。

3.吸气剂离子泵，通过电场或电磁场的作用，使电离的气体吸附在吸气剂材料表面，从而达到抽空气的目的。它有以下两种类型。

1)蒸发离子泵:泵内电离气体吸附在以间歇或连续方式升华(或蒸发)并覆盖在泵内壁的吸气材料上，从而实现抽气的真空泵。例如轨道离子泵(或弹道钛泵)。

2)溅射离子泵:一种真空泵，泵中的电离气体吸附在阴极不断飞溅的吸气剂材料上，达到抽空气的目的。

4.低温泵，是一种利用低温表面捕获气体的真空泵。