中国电子科技集团公司第四十五研究所研发

1978成功研制出国内第一台图形生成器。

1984成功研制中国第一台步进式光刻机，获得电子行业科技进步一等奖。

1993成功研制出中国第一台双面光刻机，获得国家新产品奖和电子行业科技进步三等奖。

1997成功研制国内首台超低温阵列探针测试台，获电子工业科技进步二等奖。

1997成功研制出国内第一台全自动探头试验台。

2005年，国家重点科研项目“SB-601双面光刻机”通过了设计定型和验收。该设备是国内首款实用的6英寸双面光刻机，处于国内领先水平。

2005年拥有金刚石内圆刀片电镀成型装置技术、旋转洗涤设备专用无刷电机驱动装置、油墨打印头三项专利，获第十五届全国发明展银奖。

2005年，8英寸晶圆减薄机通过国家鉴定，该设备的进给分辨率可达0.1μm，世界先进。在此基础上，在国内率先薄化60μm晶圆。