为什么光刻机没有申请专利？

掩模对准器专利公开。掩膜版光刻机没有申请专利的原因是掩膜版光刻机中的专利是公开的。光刻机早就可以国产了，跟专利限制没关系。世界上有三个国家可以制造光刻机，四家公司可以制造光刻机，荷兰的Asmel，日本的尼康和佳能，中国的上海微电子。其中唯一能制造高端euv光刻机的是荷兰Asmel，其他三家都是duv光刻机。专利限制只是限制的一个方面，最大的因素还是技术问题。