半导体rtp是什么意思？

快速热处理是一种升温速度很快，保温时间很短的热处理方法。

升温速率可达每秒10~100摄氏度。一般用红外卤素灯或电阻棒加热，电流和功率都很大。

半导体制备

1.沙子:硅是地壳中第二丰富的元素，脱氧的沙子(尤其是应时)中以二氧化硅(SiO2)形式存在的硅最多占25%，这也是半导体制造业的基础。

2.硅熔:12英寸/300mm晶圆级，下同。通过多步提纯，可以获得可用于半导体制造的优质硅，学名为电子级硅(EGS)。平均每一百万个硅原子中只有一个杂质原子。这张图展示的是如何通过提纯和熔炼硅得到大晶体，最后得到硅锭。

3.单晶硅锭:整锭基本呈圆柱形，重约100 kg，硅的纯度为99.9999%。

4.硅锭切割:将单片硅片水平切割成圆形，也就是我们常说的晶圆。

5.晶圆:经过抛光后，切割出来的晶圆变得几乎没有瑕疵，表面甚至可以当镜子用。