Yytc哪个光刻机？

Yytc是Smee的掩模对准器。根据相关公开资料，yytc是上海微电子Smee的光刻机，成立于2002年3月。在特殊技术的辐射下，SMEE根据半导体产业、泛半导体产业和信息技术的发展趋势和市场需求，开发了一系列高端设备，是国内唯一拥有多领域、多品种生产线应用的高端光刻机供应商。