中微公司刻蚀机自主可控吗

自主可控。

在2020年的时候，中微公司就已经推出了5nm的刻蚀机，这也得到了芯片制造的巨头公司台积电、三星等的大量订购。目前情况下，中微公司已经成为全球刻蚀机产业的中流砥柱。从制程设备到系统，全部都是中微公司独立自主制作。

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供具竞争力的高端设备和高质量的服务。