多晶电阻干扰的原因

多晶电阻干扰的原因是多晶晶粒结构、掺杂剂量和退火条件。制作金属时的溅射、刻蚀、退火等工艺，以及芯片工作时金属上的信号(尤其是时钟等信号)的变化，都会对金属下的电阻产生影响。