太阳能电池生产中的PSG刻蚀工艺有什么危害？

如果用干法等离子体刻蚀，容易刻得太宽，会破坏外表层周围的pn结，降低最终效率。同时等离子刻蚀会在其周围造成崩边点，导致碎片率高。如果使用激光修边，由于是在背部操作，不会造成任何伤害；仅用传统HF法去除PSG时，浸泡时间过长方块电阻略大，周边发黑，短时间内不会有问题；用HF/HNO3腐蚀会使表层被含HF或HNO3的蒸汽腐蚀，表层方阻变大。