“蚀刻机”和“光刻机”一样重要是怎么造出来的?
掩模对准器和蚀刻机的区别:
蚀刻比光刻容易。光刻机把设计打印出来,然后蚀刻机根据打印出来的图案把有图案(或者没有图案)的部分蚀刻掉,剩下的就留下了。
光刻?是指用预先制作好的光掩模覆盖在涂有光刻胶的晶片(或硅片)上,然后通过光掩模用紫外线照射晶片一定时间。原理是利用紫外光使部分光刻胶变质,容易腐蚀。
蚀刻?光刻后,用蚀刻液将变质的光刻胶蚀刻掉(正胶),半导体器件及其连接图形显示在晶片表面。然后使用另一种蚀刻溶液蚀刻晶片以形成半导体器件及其电路。
65438年至0944年,尹志尧出生于北京一个爱国家庭。他的爷爷是公费留学生,父亲也是在日本留学然后回到祖国为国家做贡献。
尹志瑶以1962成功考入中科大化学物理系。1968毕业后分配到兰州炼油厂和中科院兰州物理化学研究所工作。1978年,尹志尧再接再厉,考取了北京大学化学系硕士研究生。1980年,他去了加州大学洛杉矶分校继续深造。
之后,尹志耀在硅谷工作了20年,期间首次加入英特尔公司。1986年,尹志耀受邀加入L5M,主要负责等离子刻蚀设备的研发。1991,应用材料公司请他做等离子刻蚀总部工程技术总监。为了避免知识产权问题,他带领团队白手起家,仅用9年时间,应用材料公司就占据了国际蚀刻机设备市场40%的份额。
在半导体行业,尹志耀持有86项美国专利和200多项各国专利,被公认为硅谷最有成就的华人之一。
然而,当他60岁退休时,尹志耀做了一个大胆的决定。他带着15人的团队回国。2004年,他创办了中威半导体公司,使中国突破了蚀刻机的技术垄断,奠定了中国自主生产芯片的基础。今天,中威半导体公司生产的蚀刻机已经在米粒上刻字1亿字到10亿字的突破,殷志尧对祖国的贡献还在。