峨眉半导体材料厂改革成就
——峨眉半导体材料厂、所改革开放30年成就回顾。
1.顽强攻关，建成中国第一条具有自主知识产权的多晶硅生产线
多晶硅是电子信息的重要基础材料，被誉为“微电子建筑的基石”。它是生产单晶硅的唯一原料。1958年，中国开始采用“传统西门子法”生产多晶硅。传统西门子工艺生产的多晶硅不仅在数量、质量、品种、价格等方面不能满足电子信息产业发展的需要，而且能耗高、物耗高、生产成本高、环境污染严重，无法扩大生产，导致我国多晶硅产量萎缩，濒临灭绝。由于半导体多晶硅在国民经济和国防军事工业中的重要性，国家投入了大量的人力财力试图引进国外先进的多晶硅生产技术，但未能如愿。在这种情况下，E-Semifactory和研究所从65438到0987进行了多晶硅技术的研究实验。经过10多年的努力，终于攻克了多晶硅生产“改良西门子法”中的四项核心技术，提前199+00个月建成了我国第一条具有自主知识产权的年产100吨多晶硅生产线，并于同年年底全面投产，2000年传承10吨。专家一致认为，生产线从技术到设备，从设计到操作，都是由中国科技人员独立完成的系统工程。在实施过程中，广大科技人员努力攻关，勇于创新，解决了15项关键技术。它的成功标志着我国已基本掌握了世界先进的多晶硅生产技术——改良西门子法，具备了设计、建设和管理更大规模多晶硅生产的自主技术和能力。这条生产线获得了国家计委2001颁发的“高技术产业化示范工程奖”，同年5月获得四川省科技进步特等奖。
2001年后，EBA厂院成功申请“1000吨/年多晶硅高技术产业化示范工程”项目，掌握并实施了改良西门子法核心技术。
二是技改扩产，产品档次不断提高，产量不断扩大。
多晶硅还原炉从投产初期的3对棒成功扩容至6对棒、9对棒，直至18对棒。2004-2005年，E半厂完成了“年产200吨太阳能多晶硅生产线技术改造项目”，使产能提高到200吨/年。自行研制成功18对棒的大型节能高效还原炉，单炉产量可达1吨以上。长期连续运行情况很好，使我厂和研究所在大型还原炉的设计制造技术和应用技术上稳步攀上新台阶。
单晶硅1995之前，直拉单晶硅产品尺寸都在φ 3英寸以下，市场竞争力不强。自1996以来，我们采购了10台国产62型直拉炉、3台80型直拉炉和3台大型炉体(自制器具)，不仅扩大了产能，还通过技术创新，将主流产品尺寸从φ 3英寸提高到4-6英寸，提高了产品竞争力。φ8英寸直拉单晶硅在E半厂和研究所成功提拉。区熔单晶硅先后克服了介质辐照掺杂和气相掺杂技术，大大改善了截面不均匀的状况，满足了军工产品的需要。我公司还建立了与单晶硅生产相配套的φ 4-6英寸切割、研磨、抛光生产线，提高了产品的技术含量和附加值。从1996开始，我们的直拉单晶硅产品进入美国市场，从1998开始，硅抛光产品打开香港市场。我们还开发了30多种高技术含量的新产品并投放市场，其中10多种新产品填补了国内空白。鄂板所(厂)研制的区熔高阻硅单晶获省部级奖励20余项，其中6项为中国尖端科技成果。
高纯材料E-Semifactory的高纯材料包括24种元素，50多个品种，280多个规格。纯度为5-7“n”(99.999% ~ 99.99999%)，部分元素达到8“n”(99.99999%)。品种全国第一，纯度全国第一。经过技改扩建，高纯锑、砷、锡、铟、碲、镉、磷等品种的生产能力有了很大提高。其中，高纯锑产能扩大了20倍，从每年500公斤扩大到12吨，高纯砷产能也增加了4-5倍，实现了产业化。鄂板厂和研究所已成为中国最大的高纯金属生产和研究基地，国内市场占有率达80%，并具备大量出口的能力。同时，EBA厂所先后与信息产业部、兵器工业有关院所合作，在“气象卫星”、“资源卫星”、“先锋卫星”等多项军事重点任务和项目中，提供了Ga、In、As、Sb、te、Cd等优质高纯材料，多次受到国务院、中央军委、科委的嘉奖。
主要产品的生产经营及产量到2007年底，鄂板厂主要产品的生产经营及产量比1978翻了几番。比如1978年工业总产值为10万元，2007年为3.427亿元。近30年来主要产品的产量变化如下表所示。
主要产品78年(产量:吨)2007年(产量:吨)
多晶硅6 155
单晶硅2 132
硅片加工0.178 47
高纯度金属2(容量)65(容量)
三、做大做强，各项工作齐头并进，成绩显著。
我公司以发展中国半导体材料产业为己任，一直致力于新产品、新工艺、新技术的研发。* * *取得重大科研成果300多项，完成新产品试制协议6000多项，为我国国防工业和洲际导弹、水下运载火箭、实验通信卫星、北京正负电子对撞机、神舟六号飞船等国家重点工程提供了急需的优质半导体材料，多次获奖。特别是改革开放以来，在科研、质量、安全、环保等方面取得了显著成绩。从1984到2005年，E-Semifactory在多晶硅、单晶硅、高纯金属方面获得87项科研成果奖，其中省部级二等奖23项，三、四等奖36项。其他奖项如下:
-1990硅单晶磨片获国家优质产品银奖；
-65438+1992年6月5日被国家环保局授予全国环境保护先进企业称号；
——2000年，我厂及产品通过国家质量体系认证；
——2000年5月23日，E半厂获省科技进步特等奖；
——2001 11半导体用高纯金属获国际(天津)发明专利及新技术新产品博览会金奖；
——2003年6月5438日至10月28日，鄂板厂被四川省科技厅授予“四川省高新技术企业”称号；
——2006年被中国人民和国防科工委授予国防科技工业合作先进单位称号；
——2008年7月，被国际科委命名为科技产业国际先进技术研究与应用中心晶体材料加工(应用)依托单位。
四、强强联合，走规模化产业集群发展之路
2001年2月26日，美国晶体技术公司(AXT)的合资企业眉佳高纯材料有限公司正式上市。双方投资2880万元(我公司75%，美方25%)建设年产20吨生产线。该项目于2002年投产，美国AXT公司包销75%的产品，年销售收入3000万元，利税10万元。该项目的成功合作，是我厂、我所向高纯金属材料生产大型产业集群目标迈出的第一步。
2006年6月28日，董琦与亿邦在成都签署合作协议，联手打造光伏产业链。
●总投资30亿元的3×1500吨多晶硅项目在乐山五通桥区顺利推进。2007年2月，第一座65，438+0，500吨土建工程全面开工，施工按计划进行。现已进入设备安装阶段，预计2007年2月投产。二期1500吨项目预计2009年9月建成投产，三期1500吨项目将于2009年开工。
●2007年6月13日至6月15日，“2007第三届中国太阳能硅材料与太阳能电池研讨会”在峨眉山宾馆成功召开。来自国内外的600多名专家、学者和经销商齐聚峨眉山下，共同探讨可再生能源的开发利用。
●E半厂领导班子荣获“2007年全省国企创建四好领导班子先进集体”称号。
●2007年顺利通过四川三峡认证公司审核。当年8月，我们获得了ISO9001:2000: 2000质量标准、ISO14004:2004: 2004环境标准和GB/T 28001-2001职业健康安全标准的认证。并被四川省质量技术监督局授予2007年“质量月”荣誉称号。
●2008年4月29日，总投资25亿元的240兆瓦光伏项目一期工程在峨眉山市文赋河举行奠基仪式。一期工程120MW进展顺利，预计2009年上半年建成投产。
单晶硅厂从事单晶硅的研究和生产已有40多年。经过多年的发展，峨眉半导体材料厂独
晶体硅的产能不断扩大。直拉晶体产能达到65438±0.20吨/年，其中太阳能级产品65438±0.00吨/年，IC级单晶65438±0.5吨/年，晶体管级产品5吨/年，区熔单晶产能30吨/年，最大直径ф5。其中NTDFZ单晶产品在国内市场占有较大份额，是我厂的拳头产品。我们也是国内唯一能提供真空区熔超高阻单晶硅的企业，产品广泛应用于特种器件的生产。
单晶硅厂是专业从事直拉和区熔单晶研究和生产的下属单位，拥有一大批专业技术人员和高水平拉晶技术人员。我们拥有世界先进的F Z-30炉、C G6000、T D R80等硅单晶制造设备，以及强大的设备管理团队。国产熔炼炉在我厂得到了很好的应用，这与电器改造的水平是分不开的。
多晶硅厂从事多晶硅的研究和生产已有30多年。经过长期的技术研究和生产体系的改进，解决了西门子工艺技术，攻克了“西门子法改进”中的四大核心技术。拥有自主知识产权。随着“年产100吨多晶硅国家重点工业实验线”的建成和完善，多晶硅产能达到100吨/年，产品质量不断提升。产品的技术质量指标符合电路级、晶体管级、太阳能级直拉单晶和区熔单晶的要求。同时也结束了我们多晶硅不出口的历史。除了满足我们自己的需求，我们的产品还销往世界各地，并得到了客户的好评。2006年，中国第一条年产200吨多晶硅生产线建成，使中国多晶硅生产技术进入世界先进行列。拥有国内产量最大、质量最好的具有自主知识产权的多晶硅生产线，国内80%的多晶硅专家和一流的工艺研究、制造、设备维护专业技术团队。
现有员工300多人，工程技术人员60多人。
单晶硅片的生产和加工已有20多年的历史。其中N < 100 >和P < 11 > IC级抛光片获得国家银奖。投资后，他们现在拥有每年抛光30万片晶片、硅化腐烂晶片60万片和硅研磨晶片280万片的能力。拥有D S261，265多线切割机、T S-23内切割机、W-S-4000倒角机、SPEODFOM磨床、抛光机等多台世界先进的高精度加工设备，最大加工直径ф6，最薄磨片200微米，可为集成电路制造、分离器件制造提供优质单晶硅片。
董琦峨眉半导体材料厂高纯事业部(原高纯金属及化合物材料分厂)成立于1964，是中国第一家技术最全、品种最全的高纯金属材料厂，也是中国唯一一家分析测试中心和环保设施齐全的高纯金属材料研究单位。