半导体黄光效应
产生了薄膜、扩散和蚀刻的影响。
黄光区有稳压装置,这样晶圆不会报废,但是半导体的黄光会造成薄膜、扩散、刻蚀面积的风险,这个风险大,可以说是全报废。
黄光是半导体工业中对硅片等晶片进行涂胶、软烤、曝光、显影、硬烤的过程,使其光刻成一定的图案。特点是黄光是精细电路的制造工艺之一。
黄光区有稳压装置,这样晶圆不会报废,但是半导体的黄光会造成薄膜、扩散、刻蚀面积的风险,这个风险大,可以说是全报废。
黄光是半导体工业中对硅片等晶片进行涂胶、软烤、曝光、显影、硬烤的过程,使其光刻成一定的图案。特点是黄光是精细电路的制造工艺之一。