薄膜测厚仪的测量原理是什么?能有多准?
测厚仪是一种用于测量样品表面涂层或薄膜厚度的装置。具体测量方法如下:
磁性测厚法:适用于测量磁性材料上非磁性涂层的厚度,如钢、铜、铝等金属材料上的涂层或薄膜厚度。测量原理是利用磁传感器测量样品表面磁场的变化,从而确定涂层或薄膜的厚度。
涡流测厚法:适用于测量导电金属上非导电涂层的厚度,如铝、铜等金属材料上的涂层或薄膜厚度。测量原理是利用涡流传感器产生涡流,通过测量涡流与样品表面涂层或薄膜的相互作用来计算涂层或薄膜的厚度。
超声波测厚法:适用于测量多层涂层的厚度。测量的原理是利用超声波在样品表面的涂层或薄膜中的反射和传播特性,通过测量超声波的反射时间和传播速度来确定涂层或薄膜的厚度。
x射线荧光测厚法:适用于测量金属材料上涂层的厚度。测量原理是通过测量样品表面涂层对X射线的荧光反应来计算涂层厚度。
电化学测厚法:适用于金属材料上的镀层厚度测量,如镀锌、镀铬等。测量原理是通过电解或电化学方法测量涂层和金属基体之间的电极反应来确定涂层的厚度。
光学测厚法:适用于玻璃、塑料等反射率高的透明材料或非金属材料的厚度测量。测量原理是利用光学干涉或反射原理,通过测量光在样品表面的涂层或薄膜中的干涉和反射特性来确定涂层或薄膜的厚度。
以上是涂层测厚仪的几种常用测量方法。根据不同的应用要求和材料特性,需要选择合适的测量方法和仪器来测量涂层厚度。