长春光机所2023年度科技进步奖申报名单

长春光机所申报2023年度科学技术进步奖:金春水、王立平、王辉、张海涛、于杰、于波、周峰、郭本银、姚顺、马冬梅、李春、邓、谢瑶、刘玉、苗亮。

从具体获奖名单来看，中科院长春光机所的光刻光学技术及应用项目获得多项奖项，其中13获奖项目为“极紫外光刻光学技术”，其次为吉林省科技进步一等奖。

从获奖项目名单来看，这是一个庞大的科技攻关项目，不是单一的研发，相关技术确实取得了突破，至少相关项目已经验收或完善。

客观来说，光刻机技术的突破并不简单。EUV光刻机拥有三大核心技术，即EUV光源系统、高精度弧形反射镜系统和超高精度真空双工作台。

EUV光源系统技术来自美国Cymer公司，该公司于2012年被阿斯麦收购。高精度弧面反射镜系统，可收集激光束，物镜系统，技术来自德国蔡司；超高精度真空双级，技术来自德国，整体封装方案由德国通快公司提供。

长春光机所科研部

2065 438+05 2月官网研究所显示，国家重点实验室3个，国家重点工程中心2个，中科院重点实验室2个。

此外，研究所还设有空间光学研究部、空间光学研究部、空间光学研究部、航空成像与测量技术研究部、光电对抗研究部、光电测控研究部、图像处理技术研究部和光学技术研究中心。

无人机研究部、光电探测技术研究部、光栅技术研究中心、光电技术R&D中心、星载综合技术研究中心、空间机器人中心、超精密光学工程研究中心、三维成像与虚拟现实技术研究中心等科研部门。

国家重点实验室:应用光学国家重点实验室、发光与应用国家重点实验室、激光与物质相互作用国家重点实验室。

国家工程技术研究中心:国家光栅制造及应用工程技术研究中心；小型卫星技术国家和地方联合工程研究中心；中国科学院重点实验室；光学系统先进制造技术重点实验室；航空光学成像与测量重点实验室。

百度百科-中科院长春光学精密机械与物理研究所